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2026-7-15

VFZ401A-4Z环形风机在半导体设备中有哪些用途VFZ401A-4Z环形风机在半导体设备中，主要用途集中在工艺配套、制程保障等环节，具体如下：‌1、晶圆清洗与干燥‌在半导体湿法清洗工序中，可通过输出高压洁净气流，快速吹干晶圆表面残留的去离子水，避免水渍残留影响后续光刻、刻蚀工艺的良率，适配晶圆级精密干燥需求。2、‌制程废气与粉尘抽吸‌可作为局部负压源，抽取半导体刻蚀、沉积工序产生的微量有害工艺废气，或是吸附制程中产生的微颗粒粉尘，维持工艺腔体内的洁净度，避免污染物损伤晶圆...

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