减速机在半导体设备有哪些作用在半导体设备中，减速机（尤其是行星减速机）扮演着至关重要的角色，其主要作用体现在高精度传动、扭矩优化、稳定运行、适应特殊环境等方面，具体分析如下：1.高精度传动，满足纳米级制造需求半导体制造对精度要求高，例如光刻设备需实现纳米级定位精度。行星减速机通过多齿轮协同传动，将电机的高速旋转转化为低速高精度运动，确保设备的微米级甚至纳米级定位精度。其传动精度可达0.5弧分以内，齿侧间隙控制在极小范围，避免因传动误差导致晶圆划伤或芯片良率下降。2.扭矩优化，...