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2QB 510-SAH26高压风机在半导体设备中有哪些用途
2QB510-SAH26高压风机在半导体设备中有哪些用途2QB510-SAH26(1.5kW单段漩涡高压风机)半导体设备全用途风机基础适配优势(半导体应用主要特性)无油洁净气源:叶轮无接触运转,输出空气零油污,不会污染晶圆、光刻腔体,满足半导体无尘制程要求;吹吸两用:正压19kPa、负压-20kPa,一台同时实现吹风、抽真空,适配多工位集成设备;24h连续运行:NSK高温轴承,20000小时免维护,适配产线不间断量产;低振动低噪音:铝合金一体压铸,减震底座,不干扰光刻机、探针...
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