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DG-300-11高压风机在半导体设备中有哪些作用
DG-300-11高压风机在半导体设备中有哪些作用DG-300-11高压风机在半导体设备中通过提供稳定气流与压力环境,在颗粒物清理、正压维持、气体输送、散热管理、局部真空生成、废气处理、设备辅助运行等关键环节发挥主要作用,其性能直接影响半导体制造的洁净度、工艺稳定性及良率。以下为具体作用分析:颗粒物清理与洁净度维护主要作用:半导体制造对洁净度要求高(如ISO1级无尘室),微小颗粒污染会导致晶圆缺陷。DG-300-11高压风机通过产生高压气流,可吹除设备内部及晶圆表面的微小颗粒...
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