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DG-600-16漩涡风机在半导体设备中的用途
DG-600-16漩涡风机在半导体设备中的用途DG-600-16漩涡风机在半导体设备中是主要的洁净气源与真空源配套部件‌,依托2.2kW功率、无油吹吸双功能的特性,直接保障晶圆良率与产线稳定运行。一、主要半导体场景用途‌1、晶圆真空吸附固定‌:在晶圆检测、划片、光刻工位提供稳定负压,非接触式固定8/12英寸晶圆,避免机械夹持造成的表面划伤与颗粒污染,适配纳米级精密加工场景。2、‌洁净吹扫与颗粒控制‌:输出高压无油气流,吹除光刻、蚀刻、CVD/PVD腔体内的硅渣、金属屑与化学残...
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