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2QB 420-SHH46高压风机在半导体设备中有哪些用途
2QB420-SHH46高压风机在半导体设备中有哪些用途2QB420-SHH46高压风机是半导体设备的主要气路与环境控制部件,主要作用是洁净保障、工艺气控、散热与真空辅助、晶圆搬运,直接决定良率与设备稳定性。一、洁净度与颗粒控制(主要用途)晶圆/腔体吹扫:在光刻、蚀刻、CVD/PVD等工位,用30–100kPa高压气流吹除硅渣、金属屑、化学残留,避免纳米级颗粒污染晶圆。EUV光刻机清洁:吹扫光学镜面污染物、抑制热变形,保障纳米级光刻精度。无尘室正压维持:向设备腔体与局部洁净区...
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