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2QB 310-SAA11单相漩涡风机在半导体设备的用途
2QB310-SAA11单相漩涡风机在半导体设备的用途2QB310-SAA11单相漩涡风机凭借无油洁净、低噪高风压、轻量化免维护的特性,是半导体设备中适配性很强的气源配套部件,主要用途如下:一、主要适配特性支撑半导体场景需求1、无油纯净气源‌:无油运转输出洁净的气流,不会对晶圆、精密元器件造成油雾污染,符合半导体生产的洁净要求。2、吹吸双模式‌:同时支持正压吹风、负压吸气两种功能,可覆盖半导体多工序的不同气源需求。3、低噪轻量化‌:整机重量14kg,运行噪音低,适配半导体车间...
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